Toodete kirjeldus
Räni nitriidÕhukestel kiledel on tihe struktuur, kõrge tugevus ja hea kulumiskindlus ning neid saab kasutada MEMS -i seadmetes konstruktsioonikomponentidena. Räni nitriidi kilede noorte moodulit ja kõvadust testiti PECVD meetodil ning analüüsiti sadestumistemperatuuri ja reaktsiooni gaasi voolu suhte mõju noorte moodulile ja kilede kõvadusele. RF MEMS -lülitite valmistamiseks kasutati vedrustusvalgustina räni nitriidi kilet.
Toodete parameetrid
| Aste | N | Si | CA min | O min | C min | Al min | Fe min |
| Si3n 485-99 | 32-39 | 55-60 | 0.25 | 1.5 | 0.3 | 0.25 | 0.25 |
Toodete koostöö pilt
1.Räni nitriidKeraamika on kõrgtemperatuur ja ülitugevad struktuursed keraamika, millel on laiad arengu väljavaated. Sellel on kõrge jõudlus (näiteks kõrge tugevus, hea termiline šoki stabiilsus, kõrge väsimusega sitkus, kõrge paindetugevus toatemperatuuril, kulumiskindlus, oksüdatsioonikindlus, korrosioonikindlus jne) ja seda on laialdaselt kasutatud kõigil elualadel. Räni nitriidi ettevalmistamismeetodid hõlmavad peamiselt reaktsiooni paagutamist (RS), kuuma rõhku paagutamist (HPS), atmosfäärirõhu paagutamist (PLS) ja pneumaatilist rõhku paagutamist (GPS). Praegu on peamine probleem selles, et räni nitriidide keraamilistel toodetel on madal sitkus ja kõrged kulud. Tulevikus on vaja parandada jahvatamist, vormimist ja paagutamist ning räni nitriidi ja räni karbiidi liitmist, et arendada paremat räni nitriidi keraamikat.
Kuum tags: Kõrgetasemeline metallist räni nitriid, Hiina kõrgetasemeline metallist räni nitriidi tootjad, tarnijad, tehas