Mis on tsirkoonium tsirkooniumi pihustamise sihtmärkide jaoks?
Tsirkoonium on kõva, läikiv, hõbedane metallist materjal. Seda ekstraheeritakse maakidest (oksiidid või tsirkoon, ZrSiO4), muudetakse tetrahalogeniidideks ja seejärel redutseeritakse magneesiumiga. Tsirkooniummetall on äärmiselt korrosioonikindel, kuna pinnale moodustub stabiilne tsirkooniumoksiidi kile, mis on vastupidav hapetele (va HF) ja leelistele.
Tänu oma suurepärasele korrosioonikindlusele kasutatakse tsirkooniumi laialdaselt keemiatööstuses, kus esineb söövitavaid tingimusi. Lisaks kasutatakse seda oma suurepäraste kõrge temperatuuriomaduste ja madala neutronite neeldumiskiiruse tõttu tuumareaktorite ehitamisel. Puhast tsirkooniummetalli kasutatakse ka reaktiivmootorite vooderdusena. Tsirkooniumi kasutatakse legeeriva elemendina ja saadud sulamil on paremad mehaanilised omadused. Kui tsirkooniumi kasutatakse pihustusmaterjalina, saab tsirkooniumi sihtmärgi substraadile pihustuskattega katta, et moodustada õhuke tsirkooniummetallist kile. ZhenAn toodab ja tarnib standardseid ja kohandatud tsirkooniumi metallist pihustusobjekte. Saadaval on tsirkooniumi klassid 702 ja 99,95% madala Hf-sisaldusega (<100 ppm).
